百級凈化車間

百級半導(dǎo)體凈化車間

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上圖為我公司貴州某A級凈化車間施工現(xiàn)場圖

圖中相應(yīng)凈化工程為生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品，對生產(chǎn)環(huán)境中的空氣潔凈有較高的要求，特別是在晶圓清洗工序和光刻工序，需要在高級別潔凈室環(huán)境中生產(chǎn)。該廠房共有潔凈室5000多平方米，其中ISO 5級（A級）以上潔凈室2000余平方米，ISO 6級（B級）、ISO 7級（C級）潔凈室3000余平方米。為確保新項(xiàng)目中產(chǎn)品的正常生產(chǎn)并取得較高的良品率，在結(jié)合我所原有潔凈室的管理經(jīng)驗(yàn)基礎(chǔ)之上，制定了新的潔凈室管理辦法，并在實(shí)際應(yīng)用中進(jìn)行了多次修改和完善，取得了比較好的效果。

其中關(guān)于百級凈化車間內(nèi)FFU的日常管理如下：

FFU運(yùn)行的日常管理
FFU是整個(gè)潔凈室中保證潔凈室潔凈度的關(guān)鍵部件，F(xiàn)FU的狀態(tài)是否良好決定著A級潔凈室潔凈度是否達(dá)標(biāo)的關(guān)鍵因素。為了保證潔凈室內(nèi)的潔凈度符合生產(chǎn)的要求，我們著重從以下幾方面來監(jiān)測FFU的運(yùn)行狀態(tài)：
(1)定期地、分區(qū)域地測試FFU的風(fēng)速，確認(rèn)FFU的運(yùn)行風(fēng)速是否處于0.35m／s±20％的狀態(tài)。
(2)定期地、分區(qū)域地逐臺掃描FFU的**過濾器，確認(rèn)**過濾器是否正常工作，避免**過濾器的泄漏導(dǎo)致潔凈室內(nèi)的潔凈度超標(biāo)。
(3)定期巡視FFU運(yùn)行指示燈處于正常的工作狀態(tài)。
(4)預(yù)防性的抽查FFU**過濾器的阻力，在FFU**過濾器達(dá)到終阻力之前，分區(qū)域，提
前安排**過濾器的更換；
(5)抽查潔凈室內(nèi)各區(qū)域的潔凈度，如果在某區(qū)域監(jiān)測到粒子超標(biāo)現(xiàn)象，我們立即啟動(dòng)應(yīng)急響應(yīng)，對此區(qū)域的所有FFU**過濾器進(jìn)行逐臺掃描，查找泄漏點(diǎn)，并總結(jié)引起泄漏的原因，采取相應(yīng)的糾正預(yù)防措施。
總之，潔凈室的日常管理是一項(xiàng)非常**的綜合工程，所有牽涉潔凈室管理的工作都必須要有申請、審核和備案程序；所有進(jìn)入潔凈室的人員應(yīng)與操作人員相同，依照同樣的進(jìn)出程序，并遵循潔凈室的相關(guān)管理制度；只有不斷提高員工的素質(zhì)，增強(qiáng)員工的工作責(zé)任心自覺地維護(hù)潔凈室的制度，對潔凈室的日常管理可以起到事半功倍的效果。不僅可以大幅度地降低潔凈室的運(yùn)行費(fèi)用，同時(shí)獲得了較高的成品合格率。